液槽温度控制精度:设定温度的±1℃;
液槽与压力容器温差:最大5℃;
压力精度:设定庄力的±2;
测温装置:液槽和压力容器内各一个热电偶;
最大使用压力:≥50MPa;
适合射频模块、叠片层数高的片式元器件批量生产