薄膜电子元器件材料及制备技术

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薄膜电子元器件材料及制备技术

聚集电子元器件薄膜化趋势，建设一条国内领先的薄膜电子元器件研发实验线，对决定元器件电、磁、光、热、力等性能的基础科学问题进行应用研究，解决功能薄膜材料国产化问题，攻克薄膜电子元器件的高频电路仿真、高效沉积、精细加工及可靠性控制等关键共性制备技术，改变我国薄膜技术研究落后国外的现状，实现我国薄膜技术在电子元器件领域的规模化应用，研制出薄膜电容、薄膜电阻及薄膜衰减器、薄膜温度传感器等国际先进的典型薄膜电子元器件。

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